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您的位置: 首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > CVD系統(tǒng)/PECVD系統(tǒng)管式爐 > CVD系統(tǒng)管式爐 > OYS-1200C-ⅢCVD系統(tǒng)管式爐

CVD系統(tǒng)管式爐

簡(jiǎn)要描述:CVD系統(tǒng)管式爐是一種重要的材料制備設(shè)備,廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所、工礦企業(yè)等實(shí)驗(yàn)和小批量生產(chǎn)之中。它主要用于在固態(tài)基材上沉積一層薄膜,其組成部分包括高溫真空管式爐、氣路和真空系統(tǒng)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):OYS-1200C-Ⅲ
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-10-31
  • 訪  問(wèn)  量:502
詳細(xì)介紹
品牌HF.weiyuansu升溫速度(達(dá)到最高溫)≤10/min
加熱方式鐵鉻鋁合金絲最大功率7.1kW
控溫精度±1℃最高溫度1200℃
價(jià)格區(qū)間面議儀器種類管式爐
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,地礦,冶金,綜合
長(zhǎng)期使用溫度1100℃可選管徑φ50、φ60、φ80、φ100、φ130

CVD系統(tǒng)管式爐OYS-1200C-Ⅲ+GYS-4F+JXB-12+真空連接配件CVD系統(tǒng)管式爐


OYS-1200C-Ⅲ——翻蓋爐

一款三溫區(qū)開啟式管式爐,其最高溫度可以達(dá)到1200℃(1200℃<1H)。爐管為高純石英管。設(shè)備配有一對(duì)不銹鋼密封法蘭,可以在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行熱處理。對(duì)于控溫系統(tǒng),可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度±1℃。


技術(shù)資料

產(chǎn)品型號(hào)

翻蓋爐  OYS-1200C-Ⅲ(φ50、φ60、φ80、φ100

主要產(chǎn)品參數(shù)

電源:220V  50/60Hz

額定功率:7.1 KW

最高工作溫度:1200℃(<0.5 h)

連續(xù)工作溫度:1100 ℃

推薦升溫速率:≤10℃/min

加熱區(qū)長(zhǎng)度:加熱區(qū)長(zhǎng)度:900mm

熱電偶:K型

外形尺寸:1675mm*645mm*865mm

爐體結(jié)構(gòu)&溫控

爐體結(jié)構(gòu)&溫控:采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng);爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維作為材料,減少能量損失;內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命;三個(gè)溫區(qū)分別有三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制;包含一款YD858型溫度控制器;PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能;控溫精度±1℃;默認(rèn)DB9PC通信連接端口;可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

加熱元件

鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb

爐管尺寸

石英管口徑可選φ50、φ60、φ80、φ100

真空密封

標(biāo)配:一對(duì)不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈;

選配:為了更快的獲得較高的真空度,建議使用KF25的不銹鋼法蘭、不銹鋼波紋管和數(shù)字式真空顯示計(jì);

法蘭接口

為了得到較好的真空狀態(tài)出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉(zhuǎn)接頭與波紋管相連接;多種接頭可選,具體請(qǐng)咨詢我公司銷售經(jīng)理;

真空度

采用雙旋片式機(jī)械真空泵真空度可以達(dá)到10-2torr;如您想獲得更高的真空度(<10-5torr or better)可選國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組;

可選

本公司還可以提供防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8*105至1125torr,不需因測(cè)量氣體種類不同而需要轉(zhuǎn)換系數(shù)

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件

CE、UL等認(rèn)證,核心零部件有ABB、歐米茄、東明等采用ABB電器元件;

售后

質(zhì)保期一年,終身維護(hù);24小時(shí)在線服務(wù)

注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不得高于0.02MPA;由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;

對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等);氣體的流量應(yīng)限制在<200 SCCM(或200ml/ min)

免責(zé)聲明

本產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等) 僅供參考。如果您對(duì)參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息,請(qǐng)與我司銷售人員聯(lián)系。本信息不構(gòu)成任何要約或承諾,我司會(huì)不定期完善產(chǎn)品,恕不另行通知,請(qǐng)您見諒。



浮子流量控制系統(tǒng)GYS-4F

GYS-4F是一款三通道混氣系統(tǒng)(1單獨(dú)3混氣),用于情性氣體的控制,可用于管式爐、手套箱、等離子清洗機(jī)、CVD系統(tǒng)、小型PECVD系統(tǒng)等


技術(shù)資料

產(chǎn)品型號(hào)

供氣系統(tǒng) GYS-4F

產(chǎn)品特點(diǎn)

適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。

尤其方便多種氣體的切換使用,而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。

氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,外形美觀、實(shí)用,操作簡(jiǎn)便。

顯示流量準(zhǔn)確,可有效控制氣體的消耗量

設(shè)備底部有滾動(dòng)輪,方便移動(dòng)使用方便,無(wú)需通電

產(chǎn)品參數(shù)

浮子流量計(jì)量程: 10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min;25-250mL/min;

精度:4%

壓力表量程:-0.1-0.15MPa

通氣管道: φ6.35mm的聚四氟管

選配:浮子流量計(jì)量程可選配,5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。

混氣罐

內(nèi)置一個(gè)不銹鋼混氣罐,可更好的混合氣體

混氣罐尺寸:直徑76*長(zhǎng)154mm


氣口/閥門

背面的進(jìn)氣與出氣口均為φ6.35的卡套接頭,進(jìn)氣口通過(guò)四氟管連接氣瓶,出氣口通過(guò)四氟管連接到設(shè)備的進(jìn)氣口

兩個(gè)通道氣體進(jìn)入混氣罐混氣,一個(gè)氣體通道獨(dú)立

前面板的四個(gè)不銹鋼針閥控制氣體的進(jìn)出,獨(dú)立通道的進(jìn)出氣不受針閥控制。

產(chǎn)品尺寸

外形尺寸:長(zhǎng)610mm*寬610mm*高710mm

重量:約30Kg

售后

質(zhì)保期一年,終身維護(hù);24小時(shí)在線服務(wù)

免責(zé)聲明

本產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等) 僅供參考。如果您對(duì)參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息,請(qǐng)與我司銷售人員聯(lián)系。本信息不構(gòu)成任何要約或承諾,我司會(huì)不定期完善產(chǎn)品,恕不另行通知,請(qǐng)您見諒






真空系統(tǒng)JXB-12參數(shù)表

JXB-12是一套低真空機(jī)組,其極限真空度為10-3torr。內(nèi)部安裝有雙旋機(jī)械泵TRP-12配套使用,其接口為KF25接含有電阻真空計(jì)DGR-52和連接管道接頭等。

技術(shù)資料

產(chǎn)品型號(hào)

真空系統(tǒng)JXB-12

產(chǎn)品特點(diǎn)

610*610mm的承重臺(tái)面,可配合微元素管式爐使用,節(jié)約空間。

極限真空度可達(dá)到10-3torr,滿足大多數(shù)真空實(shí)驗(yàn)要求。

滾輪上裝有制動(dòng)裝置,提高安全性。

產(chǎn)品參數(shù)

電源:AC220V 50/60HZ

功率:1KW

抽氣速率:3L/S

極限真空度:1.0*10-1Pa

電阻真空計(jì)

電源:AC220v 50HZ

功率:≤6W

測(cè)量范圍:1.0*10-1Pa~1.0*105Pa

有效范圍:1.0*100Pa~1.0*104Pa

測(cè)量環(huán)境:非腐蝕性密封容器

測(cè)量精度:<±30%

顯示方式:LCD數(shù)顯

高真空手動(dòng)擋板閥

高真空專用不銹鋼閥門,采用氟膠圈密封,KF25卡箍連接

連接口:兩個(gè)KF25接口。

漏率達(dá)5*10-9Pam3/s。

產(chǎn)品尺寸

外形尺寸:長(zhǎng)610mm*寬610mm*高710mm

重量:約50Kg

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件

CE、UL等認(rèn)證,核心零部件有ABB、歐 米茄、東明等

售后

質(zhì)保期一年,終身維護(hù);24小時(shí)在線服務(wù)

免責(zé)聲明

本產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等) 僅供參考。如果您對(duì)參數(shù)有異議,或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息,請(qǐng)與我司銷售人員聯(lián)系。本信息不構(gòu)成任何要約或承諾,我司會(huì)不定期完善產(chǎn)品,恕不另行通知,請(qǐng)您見諒



真空連接配件:(選購(gòu))

KF25卡箍      

KF25盲板

KF16卡箍

KF16盲板

不銹鋼波紋管KF25口

手動(dòng)真空擋板閥KF25口

電阻真空計(jì):測(cè)量范圍:1.0x105pa——1.0x10-1pa

INFICON 皮拉尼電容膜片真空計(jì):測(cè)量范圍:3.8x10-5- 1125Torr








 
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